Tetrafluormethan

Tetrafluormethan (CAS 75-73-0, EG 200-896-5), auch bekannt als CF4, R 14, FC-14 und PFC-14, ist eine vollständig fluorierte Verbindung, die als Druckgas geliefert wird. Eine E-Nummer ist nicht vergeben. Aufgrund seiner außergewöhnlichen chemischen Beständigkeit und geringen Reaktivität nimmt es innerhalb der Fluorkohlenstoff-Familie eine besondere Stellung ein.

In der Halbleiterfertigung wird Tetrafluormethan als Plasmaätzgas eingesetzt: Die im Plasma erzeugten Fluorradikale tragen Siliziumdioxid- und Siliziumnitridschichten hochpräzise und selektiv ab. In der Luft- und Raumfahrtkomponentenfertigung dient es als Reinigungsmittel, das dank seiner nicht reaktiven und nicht brennbaren Trägereigenschaften Verunreinigungen von Metalloberflächen verdrängt.

Tetrafluormethan wird in hochreiner Elektronikqualität sowie in Standard-Industriequalität in Druckgasflaschen geliefert. Innerhalb der EU unterliegt es der REACH-Registrierungspflicht. Käufer sollten beachten, dass der Stoff gemäß der F-Gas-Verordnung als starkes Treibhausgas eingestuft ist, was Handhabung, Rückhaltung und Meldepflichten entsprechend regelt.