Tétrafluorure de carbone

Le tétrafluorure de carbone (CAS 75-73-0, CE 200-896-5), également désigné CF4, R 14, FC-14 et PFC-14, est un composé entièrement fluoré commercialisé sous forme de gaz comprimé. Il ne possède pas de code E. Sa stabilité chimique élevée et sa faible réactivité en font un matériau à part au sein de la famille des fluorocarbures.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, le CF4 est utilisé comme gaz de gravure plasma : les radicaux fluor générés dans le plasma éliminent sélectivement et avec une grande précision les couches de dioxyde de silicium et de nitrure de silicium. Dans la fabrication de composants aérospatiaux, il joue le rôle d'agent de nettoyage, éliminant les contaminants des surfaces métalliques grâce à ses propriétés de vecteur non réactif et ininflammable.

Le tétrafluorure de carbone est fourni en qualité électronique haute pureté et en qualité industrielle standard, en bouteilles pressurisées. Il est soumis aux obligations d'enregistrement REACH au sein de l'UE. Les acheteurs doivent tenir compte de sa classification en tant que gaz à effet de serre puissant au titre de la réglementation F-gaz, qui encadre les conditions de manipulation, de confinement et les obligations de déclaration.