Tetrafluorometano

Il tetrafluorometano (CAS 75-73-0, CE 200-896-5), noto anche come CF4, R 14, FC-14 e PFC-14, è un composto completamente fluorurato fornito in forma di gas compresso. Non è associato ad alcun codice E. L'elevata stabilità chimica e la scarsa reattività lo rendono un materiale distintivo all'interno della famiglia dei fluorocarburi.

Nella produzione di semiconduttori, il CF4 viene impiegato come gas per l'incisione al plasma: i radicali di fluoro generati nel plasma rimuovono con elevata precisione e selettività gli strati di diossido di silicio e nitruro di silicio. Nella fabbricazione di componenti aerospaziali, funge da agente detergente, allontanando i contaminanti dalle superfici metalliche grazie alle sue proprietà di vettore non reattivo e non infiammabile.

Il tetrafluorometano è disponibile in grado elettronico ad alta purezza e in grado industriale standard, in bombole pressurizzate. Nell'ambito dell'UE è soggetto agli obblighi di registrazione REACH. Gli acquirenti devono tenere presente che la sostanza è classificata come potente gas serra ai sensi della normativa F-gas, che disciplina le modalità di manipolazione, contenimento e gli obblighi di comunicazione.