Yttriumfluorid

Yttriumfluorid (CAS 13709-49-4), auch als Yttrium(III)-fluorid bzw. Yttriumtrifluorid bekannt, gehört zur Gruppe der Seltenerdfluoride und ist ein anorganisches Yttrium-Salz mit der Summenformel YF₃.

Wo wird Yttriumfluorid eingesetzt?

• Optische Dünnschichttechnik: Niederindex-Material für Antireflexbeschichtungen, etablierter Ersatz für Thoriumfluorid
• Halbleiterfertigung: Auskleidung von Plasmakammern mit YF₃/YOF-Schichten zum Schutz vor Fluor- und Sauerstoffplasmen bei der Wafer-Ätzung
• Vorläufer für die Züchtung von YLF-Laserkristallen für gepulste Festkörperlaser
• Bergbau und Metallurgie: Ausgangsstoff für metallisches Yttrium mittels Calciumreduktion sowie für Mg-Y-Vorlegierungen
• Luft- und Raumfahrt sowie Verteidigungstechnik: IR-optische Komponenten, Fluoridgläser und -fasern mit hoher Transmission im mittleren Infrarotbereich
• Thermisch gespritzte Beschichtungen aus Granulaten dienen der Oberflächenveredelung hochbeanspruchter Bauteile.

Gut zu wissen: Die Reinheit wird handelsüblich auf Basis des Gesamtgehalts an Seltenerdoxiden (TREO) angegeben; kommerzielle Qualitäten weisen typischerweise über 80 % TREO auf und decken Reinheitsgrade von 2N bis 5N (Y₂O₃/TREO) ab. Für anspruchsvolle optische Anwendungen sind Spezifikationen mit einem Sauerstoffgehalt von ≤ 0,1 % erhältlich; diese Anwendungen erfordern Qualitäten mit definiertem Glühverlust (LOI) und kontrolliertem Verunreinigungsprofil.

Kommerzielle Spezifikationen

• TREO-Gehalt typischerweise über 80 %
• Reinheitsgrade 2N bis 5N (Y₂O₃/TREO)
• Sauerstoffgehalt ≤ 0,1 % für optische Anwendungen
• Partikelgrößen: feines Pulver d₅₀ 1–10 µm, Thermospray-Granulat 10–60 µm, Bedampfungsgranulat 0,2–5 mm, Sputtertarget
• Konfektionierung in Einheiten von 1 bis 25 kg