Tellurdioxid

Tellurdioxid (CAS 7446-07-3), auch als TeO2 abgekürzt, ist ein anorganisches Oxid des Tellurs, das vorwiegend in der Elektronik und in der Herstellung von Spezialchemikalien eingesetzt wird. Es fungiert als Katalysator und optisches Material und ermöglicht eine präzise Steuerung in akustooptischen und elektrochemischen Prozessen. In akustooptischen Bauelementen werden TeO2-Kristalle zur Herstellung von Deflektoren verwendet.

Modulatoren und abstimmbare Filter für Lasersysteme und Telekommunikationsgeräte nutzen diese Kristalle ebenfalls. Die Verbindung dient als Vorläuferstoff bei der Herstellung von Telluritglas, das in faseroptische Verstärker eingearbeitet wird. Infrarotdurchlässige optische Komponenten profitieren von diesen Eigenschaften. In der Katalyse unterstützt es selektive Oxidationsreaktionen in der Synthese von Spezialchemikalien, einschließlich der Herstellung von Feinchemikalien.

Pharmazeutische Zwischenprodukte werden unter Einsatz dieses Oxids synthetisiert. Dünnschichtabscheidungsprozesse in der Halbleiterfertigung nutzen TeO2 ebenfalls als Sputtertargetmaterial für Anwendungen in der Phasenwechselspeichertechnologie. Tellurdioxid wird als weißes kristallines Pulver in technischen Qualitäten geliefert. Die Reinheit liegt je nach Anwendungsgebiet üblicherweise zwischen 99 % und 99,999 % für elektronische und optische Anwendungen.

Hochreine Sputtertargets sind in gepresster und gesinterter Form erhältlich, um halbleitergerechten Spezifikationen zu entsprechen. Die Verpackung wird typischerweise von kleinen Labormengen bis hin zu Chargen im Kilogrammbereich angeboten.