Hydroxyde de tétraméthylammonium

Le Hydroxyde de tétraméthylammonium, couramment abrégé TMAH, est une base d'ammonium quaternaire utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs, la synthèse pharmaceutique et la chimie analytique. Identifié par le CAS 75-59-2, il agit comme une base alcaline puissante et sans métal, ce qui en fait le choix privilégié lorsque toute contamination par une base inorganique est inacceptable.

Dans la fabrication de semi-conducteurs et d'écrans plats, le TMAH est la solution développatrice standard pour le décapage et la structuration des résines photosensibles, empêchant toute contamination ionique. Les fabricants pharmaceutiques et biotechnologiques l'utilisent comme catalyseur et agent d'ajustement du pH dans des étapes de synthèse nécessitant une base propre sans introduction d'ions sodium ou potassium.

Dans les laboratoires analytiques, le TMAH est employé comme agent de quaternisation pour la préparation d'échantillons en GC, permettant l'injection directe d'acides gras et d'échantillons biologiques. Il intervient également dans la gravure de plaquettes de silicium lors de la fabrication MEMS, où la précision des taux de gravure anisotrope est déterminante pour la géométrie des dispositifs.

Le TMAH est fourni sous forme de solution aqueuse, le plus souvent à une concentration de 25 %, des concentrations plus faibles étant disponibles pour des exigences de procédé spécifiques. La forme solide pentahydratée est disponible pour un dosage précis, tandis que les spécifications de grade électronique et de grade réactif constituent les principales qualités commerciales du produit.