Tetramethylammoniumhydroxid
CAS-Nummer
75-59-2
Abkürzung
TMAH
Was ist Tetramethylammoniumhydroxid?
Tetramethylammoniumhydroxid (CAS 75-59-2), abgekürzt TMAH, ist eine quartäre Ammoniumbase.
Wo wird Tetramethylammoniumhydroxid eingesetzt?
- Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung: Standardentwicklerlösung, Photolack-Entfernung und -Strukturierung, wobei das metallfreie Profil ionische Verunreinigungen der Waferoberflächen verhindert
- Pharmazeutische Synthese: Katalysator und pH-regulierendes Mittel, da die Syntheseschritte eine saubere Base ohne Natrium- oder Kaliumionen erfordern
- Analytische Chemie: Quaternierungsreagenz für die GC-Probenvorbereitung, das die direkte Injektion von Fettsäure- und biologischen Proben ermöglicht
- MEMS-Fertigung: Unterstützung des Ätzens von Silizium-Wafern mit präzisen anisotropen Ätzraten
- Als starke, metallfreie Base dient es überall dort, wo eine Kontamination durch anorganische Basen nicht tolerierbar ist.
Gut zu wissen: Elektronikqualität entspricht strengen Grenzwerten für Metallverunreinigungen und eignet sich für Halbleiterprozessumgebungen; Reagenzqualität ist eine weitere Marktgüte.
Kommerzielle Spezifikationen
- Wässrige Lösung, am häufigsten 25 %
- Niedrigere Konzentrationen wie 5 % und 10 % für spezifische Prozessanforderungen
- Pentahydrat-Feststoffform für dosierte Zugabe oder logistische Vorteile beim Transport
Andere Bezeichnungen (Synonyme)
Tetramethylammonium hydroxide|Methanaminium, N,N,N-trimethyl-, hydroxide (1:1)|Ammonium, tetramethyl-, hydroxide|Methanaminium, N,N,N-trimethyl-, hydroxide|NMD 3|TMAH
Welche physikalischen Eigenschaften hat Tetramethylammoniumhydroxid?
Schmelzpunkt 63 °C
Siedepunkt 110 °C
Dichte 0.866 g/mL at 25 °C
Flammpunkt 80 °F
Aussehen farblose bis gelbe Flüssigkeit
Farbe APHA: ≤10
Geruch starker ammoniakartiger Geruch
Form Lösung
Wasserlöslichkeit Soluble in water.
Dampfdruck 17.5 mm Hg ( 20 °C)
Brechungsindex n 20/D 1.384
pH >13 (H2O, 20°C)
Wie wird Tetramethylammoniumhydroxid eingestuft und sicher gehandhabt? Mehr Erfahren
Gefahrenhinweise
H300 Lebensgefährlich bei Verschlucken
H301 Giftig bei Verschlucken
H310 Lebensgefährlich bei Hautkontakt
H311 Giftig bei Hautkontakt
Sicherheitshinweise
P260 Staub/Rauch/Gas/Nebel/Dampf/Aerosol nicht einatmen.
P262 Nicht in die Augen, auf die Haut oder auf die Kleidung gelangen lassen.
P264 … nach Gebrauch gründlich waschen.
P270 Bei Gebrauch dieses Produkts nicht essen, trinken oder rauchen.
Welche Handels- und Regulierungscodes gelten für Tetramethylammoniumhydroxid?
HS-Code 29239000
UN-Nummer 3286
ADR-Klasse 3
Verpackungsgruppe II
Lagerklasse 3 - Flammable liquids
WGK 1