Bis(triméthylsilyl)amine

Bis(triméthylsilyl)amine (CAS 999-97-3), couramment abrégé HMDS, est un agent de silylation utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, la chimie des surfaces et les revêtements de spécialité. Il agit en convertissant les groupes hydroxyle de surface en groupes triméthylsilyle, rendant les substrats hydrophobes et améliorant l'adhésion ou la compatibilité avec les procédés en aval.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, le HMDS est appliqué comme promoteur d'adhérence pour les photorésines, en traitant les surfaces de plaquettes de silicium avant la lithographie. Cela permet d'éviter le délaminage et d'améliorer la résolution des motifs. Les laboratoires pharmaceutiques et analytiques l'utilisent pour silyler des composés actifs et des garnissages de colonnes.

Cette application améliore la stabilité des composés et la symétrie des pics en analyse GC. Dans les revêtements de spécialité, il modifie la surface de la silice et du dioxyde de titane. Cela améliore leur dispersion dans les systèmes résines hydrophobes. Les formulateurs de soins personnels utilisent des poudres traitées au HMDS dans des produits cosmétiques compacts et libres.

Le HMDS est fourni sous forme de liquide incolore dans des emballages standards allant de petites quantités réactif jusqu'aux fûts en vrac pour les besoins industriels importants. Les qualités technique et réactif sont disponibles avec des spécifications de pureté à 97 % ou supérieures. Une qualité semi-conducteur répond aux normes des procédés microélectroniques.