Hexamethyldisilazan
Was ist Hexamethyldisilazan?
Hexamethyldisilazan (CAS 999-97-3), allgemein als HMDS abgekürzt, ist ein Silylierungsmittel für die Halbleiterfertigung, Oberflächenchemie und Spezialschichten. Auch als Bis(trimethylsilyl)amin bekannt.
Wo wird Hexamethyldisilazan eingesetzt?
- Halbleiterfertigung: Haftvermittler für Fotolacke
- Behandlung von Siliziumwaferoberflächen vor der Lithografie zur Verhinderung von Ablösung und Verbesserung der Strukturauflösung
- Pharmazeutische Labore: Silylierung von Wirkstoffen
- Spezialbeschichtungen: Modifizierung der Oberfläche von Silica, Titandioxid und anderen Füllstoffen
- Kosmetik: HMDS-behandelte Pulver zur Optimierung des Hautgefühls
- Es wandelt oberflächliche Hydroxylgruppen in Trimethylsilylgruppen um.
Gut zu wissen: Die Umwandlung oberflächlicher Hydroxylgruppen in Trimethylsilylgruppen macht Substrate hydrophob und verbessert Haftung oder Kompatibilität mit nachgelagerten Prozessen. Die Silylierung verbessert die Stabilität von Verbindungen und die Peaksymmetrie bei der GC-Analyse.
Kommerzielle Spezifikationen
- Reinheitsspezifikationen typischerweise 97 %
- Material in Halbleiterqualität unter strengeren Reinheitskontrollen
Andere Bezeichnungen (Synonyme)
Hexamethyldisilazane|Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine|Bis(trimethylsilyl)amine|1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane|(TMS)2NH|((CH3)3Si)2NH|HMDS|1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine|Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-