Hexamethyldisilazan

Hexamethyldisilazan (CAS 999-97-3), allgemein als HMDS abgekürzt, ist ein Silylierungsmittel, das in der Halbleiterfertigung, der Oberflächenchemie und bei Spezialschichten eingesetzt wird. Bis(trimethylsilyl)amin ist eine anerkannte alternative Bezeichnung in der chemischen Beschaffung. Die Substanz wirkt, indem sie oberflächliche Hydroxylgruppen in Trimethylsilylgruppen umwandelt.

Dadurch werden Substrate hydrophob und die Haftung oder Kompatibilität mit nachgelagerten Prozessen wird verbessert. In der Halbleiterfertigung wird HMDS als Haftvermittler für Fotolacke eingesetzt. Es behandelt Siliziumwaferoberflächen vor der Lithografie, um Ablösung zu verhindern und die Auflösung von Strukturen zu verbessern. Pharmazeutische Labore verwenden es zur Silylierung von Wirkstoffen.

Dies verbessert die Stabilität von Verbindungen und die Peaksymmetrie bei der GC-Analyse. Bei Spezialbeschichtungen wird die Oberfläche von Silica, Titandioxid und anderen Füllstoffen modifiziert. Dies verbessert die Dispersion in hydrophoben Harzsystemen. Hersteller von Körperpflegeprodukten setzen HMDS-behandelte Pulver in Kosmetikprodukten ein, um das Hautgefühl zu optimieren.

HMDS wird als farblose Flüssigkeit in Standardverpackungen geliefert. Technische und Reagenzqualitäten sind am häufigsten verfügbar, wobei die Reinheitsspezifikationen typischerweise bei 97 % liegen. Material in Halbleiterqualität ist unter strengeren Reinheitskontrollen erhältlich, um die Prozessstandards der Mikroelektronik zuverlässig zu erfüllen und höchste Qualität zu gewährleisten.