Hexamethyldisilazan

CAS-Nummer
999-97-3
EG-Nummer
213-668-5
Abkürzung
HMDS

Was ist Hexamethyldisilazan?

Hexamethyldisilazan (CAS 999-97-3), allgemein als HMDS abgekürzt, ist ein Silylierungsmittel für die Halbleiterfertigung, Oberflächenchemie und Spezialschichten. Auch als Bis(trimethylsilyl)amin bekannt.

Wo wird Hexamethyldisilazan eingesetzt?

  • Halbleiterfertigung: Haftvermittler für Fotolacke
  • Behandlung von Siliziumwaferoberflächen vor der Lithografie zur Verhinderung von Ablösung und Verbesserung der Strukturauflösung
  • Pharmazeutische Labore: Silylierung von Wirkstoffen
  • Spezialbeschichtungen: Modifizierung der Oberfläche von Silica, Titandioxid und anderen Füllstoffen
  • Kosmetik: HMDS-behandelte Pulver zur Optimierung des Hautgefühls
  • Es wandelt oberflächliche Hydroxylgruppen in Trimethylsilylgruppen um.

Gut zu wissen: Die Umwandlung oberflächlicher Hydroxylgruppen in Trimethylsilylgruppen macht Substrate hydrophob und verbessert Haftung oder Kompatibilität mit nachgelagerten Prozessen. Die Silylierung verbessert die Stabilität von Verbindungen und die Peaksymmetrie bei der GC-Analyse.

Kommerzielle Spezifikationen

  • Reinheitsspezifikationen typischerweise 97 %
  • Material in Halbleiterqualität unter strengeren Reinheitskontrollen

Andere Bezeichnungen (Synonyme)

Hexamethyldisilazane|Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine|Bis(trimethylsilyl)amine|1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane|(TMS)2NH|((CH3)3Si)2NH|HMDS|1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine|Silanamine, 1,1,1-trimethyl-N-(trimethylsilyl)-

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Welche physikalischen Eigenschaften hat Hexamethyldisilazan?

Schmelzpunkt -78 °C
Siedepunkt 125 °C
Dichte 0.7741 g/cm³ @ Temp: 25 °C
Flammpunkt 57.2 °F
Aussehen Farblose Flüssigkeit
Farbe Farblos
Geruch Ammoniakgeruch
Form Flüssigkeit
Wasserlöslichkeit REACTS
Dampfdruck 20 hPa (20 °C)
Brechungsindex n 20/D 1.407(lit.)
Log P 0.23-1.19 at 20-25℃

Wie wird Hexamethyldisilazan eingestuft und sicher gehandhabt? Mehr Erfahren

Gefahr
GHS02· Entzündbar GHS05· Ätzend GHS06· Giftig GHS07· Reizend GHS08· Gesundheitsgefahr

Gefahrenhinweise

H225 Flüssigkeit und Dampf leicht entzündbar
H302 Gesundheitsschädlich bei Verschlucken
H311 Giftig bei Hautkontakt
H314 Verursacht schwere Verätzungen der Haut und schwere Augenschäden

Sicherheitshinweise

P210 Von Hitze, heißen Oberflächen, Funken, offenen Flammen sowie anderen Zündquellen fernhalten. Nicht rauchen.
P233 Behälter dicht verschlossen halten.
P240 Behälter und Empfangsanlage erden und bonden.
P241 Explosionsgeschützte [elektrische/Lüftungs-/Beleuchtungs-/…] Geräte verwenden.

Welche Handels- und Regulierungscodes gelten für Hexamethyldisilazan?

HS-Code 29319099
UN-Nummer 3286
ADR-Klasse 3
Verpackungsgruppe II
Lagerklasse 3 - Entzündbare Flüssigkeiten
WGK 2
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