Esametildisilazano

Esametildisilazano (CAS 999-97-3), comunemente abbreviato come HMDS, è un agente sililante impiegato nella fabbricazione di semiconduttori, nella chimica delle superfici e nei rivestimenti speciali. Bis(trimetilsilil)ammina è un nome alternativo riconosciuto nell'approvvigionamento di prodotti chimici. Agisce convertendo i gruppi idrossilici superficiali in gruppi trimetilsililici.

Questo processo rende i substrati idrofobici e migliora l'adesione o la compatibilità con i processi a valle. Nella produzione di semiconduttori, l'HMDS viene applicato come promotore di adesione. Viene utilizzato per trattare le superfici dei wafer di silicio prima della litografia per prevenire la delaminazione. I laboratori farmaceutici lo utilizzano per sililare composti attivi.

L'uso nei riempimenti di colonne cromatografiche migliora la stabilità dei composti e la simmetria dei picchi nell'analisi GC. Nel campo dei rivestimenti modifica la superficie di silice e biossido di titanio. Migliora la dispersione in sistemi resinosi idrofobici e viene impiegato in prodotti cosmetici pressati. Qui sono richieste migliorate sensazioni sulla pelle e un'alta resistenza all'umidità.

L'HMDS viene fornito come liquido incolore in imballaggi standard che vanno da piccole quantità fino a fusti industriali. I gradi tecnico e da reagente sono i più comunemente disponibili. Le specifiche di purezza sono tipicamente al 97% o superiori. Il materiale di grado semiconductor è disponibile con controlli più stringenti per soddisfare gli standard della microelettronica.