Tetrafluormethan

Tetrafluormethan (CAS 75-73-0), auch als PFC-14 und Freon 14 bekannt, ist ein fluoriertes Gas, das hauptsächlich als Plasmaätz- und Reinigungsmittel dient.

Wo wird Tetrafluormethan eingesetzt?

• Halbleiter- und Elektronikindustrie: Plasmaätzgas für Siliziumdioxid- und Siliziumnitridschichten
• Halbleiterfertigung: präzise Strukturierung integrierter Schaltkreise
• Kammerreinigung in CVD-Anlagen: Entfernen abgelagerter Rückstände ohne Beschädigung empfindlicher Bauteile
• Luft- und Raumfahrt sowie Verteidigungsbereich: Referenzgas und dielektrisches Medium in Prüf- und Kalibrierumgebungen
• Kryogen- und atmosphärische Forschungsprogramme nutzen es als Tracergas.

Gut zu wissen: Elektronikgradspezifikationen liegen typischerweise bei einer Reinheit von 99,9 % und höher. Spezialgaslieferanten bieten zertifizierte Referenzgemische für Kalibrierungs- und Analysezwecke an.

Kommerzielle Spezifikationen

• Reinheitsgrade von industriell bis hochreinem Elektronikgrad
• Elektronikgrad: Reinheit ab 99,9 % und höher
• Lieferung als Druckgas in Hochdruckflaschen und Tube-Trailern