Tetrafluorometano

El Tetrafluorometano (CAS 75-73-0), también suministrado bajo las denominaciones PFC-14 y Freon 14, es un gas fluorado utilizado principalmente como agente de grabado y limpieza por plasma en la fabricación de semiconductores y electrónica.

Su estabilidad química en condiciones extremas lo convierte en un gas de proceso de referencia cuando la precisión y la consistencia son requisitos innegociables para la industria química y tecnológica actual.

En la fabricación de semiconductores, actúa como gas de grabado por plasma para capas de dióxido de silicio y nitruro de silicio, permitiendo un patterning preciso en la producción de circuitos integrados de alta densidad.

Los fabricantes de electrónica lo utilizan también para la limpieza de cámaras en equipos CVD, eliminando residuos depositados sin dañar componentes sensibles ni alterar la integridad estructural de los equipos de proceso.

En aplicaciones aeroespaciales y de defensa, se emplea como gas de referencia y medio dieléctrico en entornos especializados de ensayo y calibración, garantizando un rendimiento óptimo en condiciones de alta exigencia.

Los programas de investigación criogénica y atmosférica lo utilizan como gas trazador debido a su largo tiempo de residencia atmosférica y su concentración de fondo medible, facilitando estudios climáticos precisos.

El producto se suministra como gas comprimido en cilindros de alta presión y remolques de tubos, con grados de pureza que van desde el industrial hasta el de grado electrónico de alta pureza para aplicaciones críticas.

Las especificaciones de grado electrónico, habitualmente con una pureza del 99,9 % o superior, constituyen los requisitos estándar para las aplicaciones de proceso en semiconductores y mezclas de referencia certificadas.