Disolventes
REACH
Tetrafluorometano
Número CAS
75-73-0
Número CE
200-896-5
¿Qué es Tetrafluorometano?
El Tetrafluorometano (CAS 75-73-0) es un gas fluorado utilizado principalmente como agente de grabado y limpieza por plasma en la fabricación de semiconductores y electrónica. También comercializado como PFC-14 y Freon 14.
¿Dónde se utiliza Tetrafluorometano?
- Semiconductores: gas de grabado por plasma para dióxido de silicio y nitruro de silicio
- Electrónica: limpieza de cámaras en equipos CVD
- Aeroespacial y defensa: gas de referencia y medio dieléctrico en ensayos y calibración
- Investigación criogénica y atmosférica: gas trazador por su tiempo de residencia atmosférica
- En circuitos integrados de alta densidad permite un patterning preciso.
Especificaciones comerciales
- Grados de pureza desde industrial hasta grado electrónico de alta pureza
- Grado electrónico: pureza del 99,9 % o superior
Otros Nombres (Sinónimos)
Carbon tetrafluoride|PFC-14|Halon 14|Freon 14|CF4|Methane, tetrafluoro-|Refrigerant 14|Halocarbon 14|Arcton 0
¿Cuáles son las propiedades físicas de Tetrafluorometano?
Punto de Fusión -183.6 °C
Punto de Ebullición -127.8 °C
Densidad 3.034 g/cm³ @ Temp: 25 °C
Apariencia Tetrafluoromethane is a colorless, odorless gas.
Solubilidad en Agua mL/100mL in H2O: 0.595 (10°C), 0.490 (20°C), 0.366 (40°C) [LAN05]
Índice de Refracción 1.1510
¿Cómo se clasifica y manipula con seguridad Tetrafluorometano? Más Información
Atención
GHS04· Gas a presión GHS07· Irritante
Indicaciones de Peligro
H336 Puede provocar somnolencia o vértigo
H280 Contiene gas a presión; peligro de explosión en caso de calentamiento
¿Qué códigos comerciales y regulatorios se aplican a Tetrafluorometano?
Código SA 2903392810
Número ONU 1982
Clase ADR 2.2
WGK (Alemania) 3