Tétrafluorure de carbone

Le Tétrafluorure de carbone (CAS 75-73-0), également commercialisé sous les désignations PFC-14 et Freon 14, est un gaz fluoré utilisé principalement comme agent de gravure et de nettoyage par plasma.

Où Tétrafluorure de carbone est-il utilisé ?

• Semi-conducteurs et électronique : gaz de gravure plasma pour le dioxyde de silicium et le nitrure de silicium
• Fabrication de circuits intégrés : structuration précise
• Équipements CVD : nettoyage des chambres éliminant les résidus sans endommager les éléments sensibles
• Aérospatial et défense : gaz de référence et milieu diélectrique
• Essais et étalonnage : environnements spécialisés pour équipements de haute technologie
• Recherche cryogénique et atmosphérique : gaz traceur
• Sa stabilité chimique dans des conditions extrêmes en fait un gaz de process de référence lorsque la précision et la constance sont des exigences absolues.

À noter: Sa longue durée de résidence dans l'atmosphère et sa concentration de fond parfaitement mesurable expliquent son emploi comme gaz traceur.

Spécifications commerciales

• Gaz comprimé en bouteilles haute pression et en remorques à tubes
• Pureté du grade industriel au grade électronique haute pureté
• Grade électronique : généralement à partir de 99,9 % de pureté
• Mélanges de référence certifiés pour l'analyse