Tétrafluorure de carbone

Le Tétrafluorure de carbone (CAS 75-73-0), également commercialisé sous les désignations PFC-14 et Freon 14, est un gaz fluoré utilisé principalement comme agent de gravure et de nettoyage par plasma.

Il est essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs et de composants électroniques. Sa stabilité chimique dans des conditions extrêmes en fait un gaz de process de référence lorsque la précision et la constance sont des exigences absolues.

Dans la fabrication de semi-conducteurs, il intervient comme gaz de gravure plasma pour les couches de dioxyde de silicium et de nitrure de silicium. Cela permet une structuration précise lors de la production de circuits intégrés.

Les fabricants de composants électroniques l'utilisent également pour le nettoyage des chambres dans les équipements CVD. Il permet d'éliminer les résidus déposés sans endommager les éléments sensibles des machines.

Dans les applications aérospatiales et de défense, il sert de gaz de référence et de milieu diélectrique. On le retrouve dans des environnements spécialisés d'essais et d'étalonnage pour des équipements de haute technologie.

Les programmes de recherche cryogénique et atmosphérique y recourent comme gaz traceur. Cela est dû à sa longue durée de résidence dans l'atmosphère et à sa concentration de fond parfaitement mesurable.

Le produit est livré sous forme de gaz comprimé en bouteilles haute pression et en remorques à tubes. Les niveaux de pureté disponibles vont du grade industriel au grade électronique haute pureté.

Les spécifications de grade électronique, généralement à partir de 99,9 % de pureté, constituent les exigences standard. Les fournisseurs proposent aussi des mélanges de référence certifiés pour l'analyse.