Tetrafluorometano

Il Tetrafluorometano (CAS 75-73-0), fornito anche con le denominazioni PFC-14 e Freon 14, è un gas fluorurato impiegato principalmente come agente di plasma etching e pulizia nella produzione di semiconduttori. La sua stabilità chimica in condizioni estreme lo rende un gas di processo privilegiato nei contesti industriali in cui la precisione e la costanza dei risultati non sono assolutamente negoziabili.

Nella fabbricazione di semiconduttori, viene utilizzato come gas per plasma etch su strati di diossido di silicio e nitruro di silicio, consentendo una definizione precisa dei pattern nella produzione di circuiti integrati. I produttori di apparecchiature elettroniche lo impiegano inoltre per la pulizia delle camere nei sistemi CVD, eliminando i residui depositati senza danneggiare i componenti sensibili dei macchinari.

Nelle applicazioni aerospaziali e della difesa, funge da gas di riferimento e mezzo dielettrico in ambienti specializzati di test e calibrazione, garantendo prestazioni elevate in condizioni critiche. I programmi di ricerca criogenica e atmosferica lo utilizzano come gas tracciante grazie al suo lungo tempo di permanenza in atmosfera e alla sua concentrazione di fondo costantemente misurabile.

Il prodotto è fornito come gas compresso in bombole ad alta pressione e rimorchi a bombole multiple, con gradi di purezza che vanno da quello industriale fino all'electronic grade ad alta purezza. Le specifiche per l'electronic grade, con purezza pari o superiore al 99,9%, rappresentano i requisiti standard per i semiconduttori. I fornitori offrono miscele di riferimento certificate per analisi.