Solventi
REACH
Tetrafluorometano
Numero CAS
75-73-0
Numero CE
200-896-5
Che cos'è Tetrafluorometano?
Il Tetrafluorometano (CAS 75-73-0), noto anche come PFC-14 e Freon 14, è un gas fluorurato impiegato come agente di plasma etching e pulizia nella produzione di semiconduttori.
Dove si usa Tetrafluorometano?
- Semiconduttori: plasma etch su diossido di silicio e nitruro di silicio per la definizione dei pattern nei circuiti integrati
- Elettronica: pulizia delle camere nei sistemi CVD dai residui depositati
- Aerospaziale e difesa: gas di riferimento e mezzo dielettrico in test e calibrazione
- Ricerca criogenica e atmosferica: gas tracciante a lungo tempo di permanenza
- Nelle miscele di riferimento certificate funge da standard per analisi.
Da sapere: Non negoziabile la costanza dei risultati nei processi che richiedono precisione.
Specifiche commerciali
- Gradi di purezza da industriale a electronic grade
- Electronic grade: purezza pari o superiore al 99,9%
Altri Nomi (Sinonimi)
Carbon tetrafluoride|PFC-14|Halon 14|Freon 14|CF4|Methane, tetrafluoro-|Refrigerant 14|Halocarbon 14|Arcton 0
Quali sono le proprietà fisiche di Tetrafluorometano?
Punto di Fusione -183.6 °C
Punto di Ebollizione -127.8 °C
Densità 3.034 g/cm³ @ Temp: 25 °C
Aspetto Tetrafluoromethane is a colorless, odorless gas.
Solubilità in Acqua mL/100mL in H2O: 0.595 (10°C), 0.490 (20°C), 0.366 (40°C) [LAN05]
Indice di Rifrazione 1.1510
Come viene classificato e manipolato in sicurezza Tetrafluorometano? Scopri di Più
Attenzione
GHS04· Gas sotto pressione GHS07· Irritante
Indicazioni di Pericolo
H336 Può provocare sonnolenza o vertigini
H280 Contiene gas sotto pressione; può esplodere se riscaldato
Quali codici commerciali e normativi si applicano a Tetrafluorometano?
Codice HS 2903392810
Numero ONU 1982
Classe ADR 2.2
WGK (Germania) 3